隆基股份-P型硅片

材料性能

项目

规格

检测方法

生长方式

CZ

--

结晶性

单晶

择优化学腐蚀法

导电类型

P型

P/N型测试仪

尺寸

M6:166mm*223mm M10:182mm*247mm

硅片自动检测设备

厚度

180+20/10 um 175+20/10 um 170+20/10 um

硅片自动检测设备

项目:

生长方式

规格:

CZ

检测方法:

--

项目:

结晶性

规格:

单晶

检测方法:

择优化学腐蚀法

项目:

导电类型

规格:

P型

检测方法:

P/N型测试仪

项目:

尺寸

规格:

M6:166mm*223mm M10:182mm*247mm

检测方法:

硅片自动检测设备

项目:

厚度

规格:

180+20/10 um 175+20/10 um 170+20/10 um

检测方法:

硅片自动检测设备

电性能

项目

规格

检测方法

电阻率

0.4-1.1 ohm.cm

硅片自动检测设备

少子寿命

≥50us

Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3)

氧含量

≤8E + 17 at/cm3

傅里叶变换红外光谱仪

碳含量

≤ 5E + 16 at/ cm3

傅里叶变换红外光谱仪

项目:

电阻率

规格:

0.4-1.1 ohm.cm

检测方法:

硅片自动检测设备

项目:

少子寿命

规格:

≥50us

检测方法:

Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3)

项目:

氧含量

规格:

≤8E + 17 at/cm3

检测方法:

傅里叶变换红外光谱仪

项目:

碳含量

规格:

≤ 5E + 16 at/ cm3

检测方法:

傅里叶变换红外光谱仪

材料性能

电性能

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